单双层加热结构对纳米金刚石膜形貌及摩擦性能的影响

• 作 者: 丰杰 李建国 梅军 胡东平
• 机 构: 中国工程物理研究院总体工程研究所,中南大学材料科学与工程学院
• 出 处: 真空科学与技术学报
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 纳米金刚石 薄膜 热丝化学气相沉积 摩擦系数
• 基金项目: 中国工程物理研究院科学技术基金资助项目

采用热丝化学气相沉积方法研究了CH4/H2体系不同沉积气压以及不同加热结构对金刚石薄膜组成及形貌的影响,并对其摩擦磨损性能进行了检测.结果表明:通过降低反应气体的压力和选择适当的碳源浓度的方法,可以获得纳米金刚石薄膜;采用双层丝加热,可以使颗粒尺寸及表面粗糙度控制在12 nm左右,并具有更低的摩擦系数,更好的耐磨性能.