【摘 要】
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本文提出在压电基片上产生声表面波直接相移的一种新的声电移相器.介绍了与YZ-LiNbO_3耦合的硅片气隙所引起的衰减及相滞与电阻率关系的计算结果.证明采用光生载流子和表面电
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本文提出在压电基片上产生声表面波直接相移的一种新的声电移相器.介绍了与YZ-LiNbO_3耦合的硅片气隙所引起的衰减及相滞与电阻率关系的计算结果.证明采用光生载流子和表面电阻率的场效应控制,可以利用硅电阻率的变化来控制声表面波的相位.实验结果证实,利用+30伏横向电压脉冲得到了180°相移.
In this paper, we propose a new acoustoelectric phase shifter that produces direct phase-shifted SAW on a piezoelectric substrate. The calculation of the attenuation caused by the air gap coupled with YZ-LiNbO_3 and the relationship between the phase delay and resistivity The results show that the field effect control of photo-generated carriers and surface resistivity can be used to control the phase of SAW.The experimental results show that 180 ° phase shift is obtained by using + 30V transverse voltage pulse.
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