【摘 要】
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一、引言 集成电路,尤其是大规模集成电路(LSI)这项综合性技术的发展,离不开高纯气体。去年二个接我所4KRAM产品的工厂,其管芯成品率接近和超过我所(20％),另外我们在引进生产
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一、引言 集成电路,尤其是大规模集成电路(LSI)这项综合性技术的发展,离不开高纯气体。去年二个接我所4KRAM产品的工厂,其管芯成品率接近和超过我所(20％),另外我们在引进生产线用3英寸大圆片第一批试投该电路也有相当可观的成品率,这当中无疑也有高纯气体的贡献。
I. INTRODUCTION The development of integrated circuits, especially large-scale integrated circuits (LSIs), can not be separated from high-purity gas. Last year, two factories that took 4KRAM products from me had a die yield close to and surpassing ours (20%). In addition, we introduced the first batch of 3-inch wafers into the production line and had a considerable yield. There is no doubt that there are also high-purity gas contribution.
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