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通过有限元软件ANSYS仿真，建立了电容传感器的2D模型，计算了电容传感器的敏感场分布。以敏感场的均匀度为评价函数，基于正交试验法得到了较优的传感器结构。
电容式空隙率传感器有限元仿真及优化
【摘 要】
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通过有限元软件ANSYS仿真，建立了电容传感器的2D模型，计算了电容传感器的敏感场分布。以敏感场的均匀度为评价函数，基于正交试验法得到了较优的传感器结构。
【机 构】
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中国航天员科研训练中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2009年B11期
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