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微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中.
计算机辅助微技术设计
【摘 要】
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微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中.
【机 构】
：
Braunschweig 工业大学设计学、机械零件和精密零件研究所合肥工业大学机械与汽车工程学院,230009;合肥工业大学研究生部,230009;
【出 处】
：
工程设计学报
【发表日期】
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2003年2期
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