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本文报道通过在位组分调整，配合X射线双晶衍射测试和光致发光测试，生长了与InP精确匹配的GaInAsP/InP（失配度达4×10^-4),生长了GaInAsP/InP妲子阱结构的光致发光半峰宽达5．72meV。实验表明源炉挡板开启后生长速率是不均匀的，这对生长量子阱和DBR结构是个值得注意的问题，经考虑生长速率变化后生长的面发射激光器结构样片的的反射率谱与理论计算的结果很好地相符。