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本文采用不同表面处理方法制备样品，利用Ｃ－Ｖ和边栅效应测试图形研究其对肖特基势垒的正向ｎ值，反向击穿电压和边栅效应的影响。将不同表面处理方法制备的器件进行可靠性试验，由此给出ＧａＡｓ表面处理的优化方法。
GaAs表面处理与可靠性
【摘 要】
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本文采用不同表面处理方法制备样品，利用Ｃ－Ｖ和边栅效应测试图形研究其对肖特基势垒的正向ｎ值，反向击穿电压和边栅效应的影响。将不同表面处理方法制备的器件进行可靠性试验，由此给出
【机 构】
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西安电子科技大学,电子部十三所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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1997年2期
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