【摘 要】
：
采用形核-甲烷/氢气生长-辅助气体/甲烷/氢气生长的新工艺,在镜面抛光的单晶硅片上制备了金刚石膜,并用扫描电子显微镜和激光拉曼光谱等测试方法对薄膜的表面形貌和质量性能
【机 构】
：
等离子体化学与新材料湖北省重点实验室（武汉工程大学）
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（No.11175137）
论文部分内容阅读
采用形核-甲烷/氢气生长-辅助气体/甲烷/氢气生长的新工艺,在镜面抛光的单晶硅片上制备了金刚石膜,并用扫描电子显微镜和激光拉曼光谱等测试方法对薄膜的表面形貌和质量性能进行了表征;研究了添加辅助气体对已有金刚石晶型生长的影响.结果表明：以甲烷/氢气为气源时,金刚石膜生长率一般为1.8μm/h,当分别加入氧气、二氧化碳、氮气时,其生长率都有所提高,其中加入二氧化碳时,其生长率是甲烷/氢气为气源的3倍多,但是加入氩气时,其生长率下降;通过新工艺,在加入氮气或氩气时,第一生长阶段为微米,而第二生长阶段为纳米尺寸,
其他文献
祁连山环境污染问题只是我们在生态文明法治建设过程中暴露出来的一个问题的缩影。实现生态文明的目标,解决实实在在的环境问题,应探寻一条多元化、多角度的路径。文章从法经
目的:观察人参补肺饮联合西医疗法治疗慢性阻塞性肺疾病（COPD）肺气肿表型的临床疗效。方法:将78例患者按随机数字表法分为2组各39例。对照组给予异丙托溴铵气雾剂喷雾吸入、茶
便民服务中心是这几年来全国农村出现的新生事物,它是一种服务于三农的地方组织构,它旨在方便群众、高效运作、规范服务、廉洁办事。该机构面向基层,主要为社会、企业、群众
目的探讨含有TRADD基因的重组腺病毒转染增生性瘢痕成纤维细胞与瘢痕疙瘩成纤维细胞,对纤维细胞凋亡特性的影响。方法利用分子克隆技术将TRADD基因转入Adeasy腺病毒载体中,经
酒店相关专业毕业生的操作技能是酒店录用毕业生最为看重的条件之一。凡开设酒店相关专业的高职院校都极为重视实训课程的开展和实训室的建设。随着一大批高职院校校内实训室
目的:探讨中西医结合治疗小儿病毒性肺炎的临床疗效。方法:选取我院收治的68例小儿病毒性肺炎患儿作为治疗组,60例病毒性肺炎患儿作为对照组,对照组予以西医常规治疗,治疗组
长安、洛阳之间的地域是隋末唐初李渊集团军事部署的战略枢纽区域。无论从战略进攻方向的选择,还是军事防御与进攻体系的构建,李渊集团始终高度重视长安、洛阳两京之间这一地
【正】 文艺为人民大众服务,必须遵循文艺的特殊规律。毛泽东在《在延安文艺座谈会上的讲话》中,不仅回答了无产阶级革命的新时代对文艺的要求,指出了无产阶级文艺的根本方向
心理健康教育是学校德育工作的一项紧迫任务和重要内容。鉴于历史教学本身的学科特点,在教学中渗透心理健康教育是行之有效的教育方法,促进学生心理健康发展。通过结合相关教