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本文主要从自扫描光电二极管列阵SSPD的电路设计、版图结构、工艺和材料等几个方面,研究了导致这种图像传感器视频输出信号呈现非均匀性的种种原因,提出了解决问题的措施。提高了SSPD器件CL128、CL256的均匀性,其视频输出信号不均匀性NV由小于±10％提高到±7％。
自扫描光电二极管列阵的均匀性研究
【摘 要】
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本文主要从自扫描光电二极管列阵SSPD的电路设计、版图结构、工艺和材料等几个方面,研究了导致这种图像传感器视频输出信号呈现非均匀性的种种原因,提出了解决问题的措施。提
【机 构】
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重庆大学光机系,重庆大学光机系重庆630044,重庆630044
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1991年3期
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