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【摘 要】
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为了实现扫描电子显微镜（SEM）对纳米颗粒粒径的准确测量,研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法;在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像,运用MATLAB软件对显微
【机 构】
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中国石油大学（北京）化学工程学院,中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所
【出 处】
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中国粉体技术
【发表日期】
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2016年5期
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