论文部分内容阅读
采用金属等离子体离子注入的方法，在Ａｇ基体上注入了Ａｌ，用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对注入层的Ａｌ浓度－深度分布和化学态进行了分析，用 射法（ＸＲＤ）对注入层和非平衡磁控溅射的Ａｌ沉积层相组成进行了测定和比较，选用小掠射角（３°）ＸＲＤ对注入层的相组成进行了测定，结果表明，注入层中Ａｌ浓度沿深度方向逐渐降低，表面有Ａｇ原子存在；近表面处形成了Ａｇ－Ａｌ固溶体并且出现了少量的μ－Ａｇ３Ａｌ相；较兴