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表面涂层技术能够改变材料及其制件表面成分和组织结构,获得性能优异的表面薄层,因而广泛应用于各行业.目前普遍采用的制备工艺是PVD和CVD技术.比较研究这两种技术及其改进方法,并分析膜厚检测、薄膜成分和结构以及力学性能等测试技术.
表面涂层的制备工艺与测试技术
【摘 要】
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表面涂层技术能够改变材料及其制件表面成分和组织结构,获得性能优异的表面薄层,因而广泛应用于各行业.目前普遍采用的制备工艺是PVD和CVD技术.比较研究这两种技术及其改进方
【机 构】
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国防科技大学,武汉科技大学
【出 处】
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武汉科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年3期
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