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期刊论文
薄膜技术与压力传感器
薄膜技术与压力传感器
来源 :自动化仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenan110
【摘 要】
:
在收集大量国内外文献的基础上,综述了薄膜技术与压力传感器的发展情况,重点介绍了薄膜材料特性、工艺技术和薄膜压力传感器的结构、制作工艺和主要技术指标。
【作 者】
:
白韶红
【机 构】
:
北京市第三城市建设工程公司
【出 处】
:
自动化仪表
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
薄膜工艺技术
薄膜
压力传感器
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在收集大量国内外文献的基础上,综述了薄膜技术与压力传感器的发展情况,重点介绍了薄膜材料特性、工艺技术和薄膜压力传感器的结构、制作工艺和主要技术指标。
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