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高速高精度机床直线进给系统用永磁直线同步电机（PMLSM）存在法向力波动的问题，法向力波动会造成进给工作台振动，影响精密机床的加工精度和定位精度。分析表明，磁阻力波动是产生法向力波动的主要原因。采用初级齿槽两次倒角优化和次级斜极相结合的方法来减小磁阻力波动。应用有限元方法对齿槽结构和斜极角度进行优化，计算优化后的电动机参数，并使用分层有限元分析方法进行仿真计算。仿真结果表明，采用该优化方法的永磁直线同步电机可在推力损失较小的情况下有效抑制法向力的波动幅值。