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随着我国半导体行业的快速发展,半导体制程过程中产生大量含杂质磷酸废液。综合对比分析了4种含杂质磷酸废液的提纯处理技术方案。涉及到的技术单元系统包括化学反应处理系统、TMF管式微滤膜系统、蒸发器系统、阴阳离子树脂交换系统。采用各工艺组合处理的方法,对4种系统进行分析对比。为后续磷酸废液提纯处理生产技术提供参考。