Introduction of atomic H into Si3N4/SiO2/Si stacks

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhang_ts

【摘要】

：

Atomic H generated by a plasma NH3 source at 400 ℃ was demonstrated to passivate dehydrogenated Si3N4/SiO2/Si stacks effectively by bonding with defectsin the

【作者】

：

JIN Hao WEBER K.J. LI Weitang

【机构】

：

CentreforSustainableEnergySystems

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

LPCVD SiO2 PASSIVATION ANNEAL LPCVD SiO2 passivation anneal

【基金项目】

：

The project was financially supported by the Australian Research Council

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Atomic H generated by a plasma NH3 source at 400 ℃ was demonstrated to passivate dehydrogenated Si3N4/SiO2/Si stacks effectively by bonding with defectsin the Si3N4 film and at the Si-SiO2 interface. A subsequent anneal in N2 after atomic H reintroduction

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