【摘 要】
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在亚μｍｉ线曝光装置上研究了四极、环形、及二元光栅照明对投影光刻分辨力的影响。主要就曝光能量，分辨力改善情况，焦深变化等与传统情况作了比较。研究发现，就分辨力和焦深而言，３种
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在亚μｍｉ线曝光装置上研究了四极、环形、及二元光栅照明对投影光刻分辨力的影响。主要就曝光能量，分辨力改善情况，焦深变化等与传统情况作了比较。研究发现，就分辨力和焦深而言，３种方法均有效；综合能量利用率，照明均匀性和分辨力提高程度，二元光栅是较好的方法，将分辨力从０．８μｍ提高到０．５μｍ，证实了离轴照明对大于０．５μｍ的图形分辨力同样有提高作用
The effects of quadrupole, toroidal and binary grating illumination on the resolving power of projection lithography were studied on a sub-μm-ray exposure apparatus. Mainly on the exposure energy, resolution improvement, changes in depth of focus compared with the traditional situation. The study found that all three methods are effective in terms of resolution and depth of focus; the binary raster is a better way to improve the resolution from 0.8 μm to 0.5μm, confirmed that off-axis illumination of greater than 0.5μm graphics resolution also improve
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