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选用V2O5为前驱物，通过在玻璃片上镀膜，利用高纯氢和高纯氮作为气源，采用微波等离子体增强法，在低温条件下合成了氮杂二氧化钒（VO2-xNy）样品。通过XRD表征了样品的成分，结果表明：合成的样品为氮杂二氧化钒，样品的结晶度较低，颗粒尺寸较小；相变温度测试结果表明：通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度，目前最低可以降低至42℃。