【摘 要】
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本文提出了一种利用电子散斑干涉法(ESPI)检测漫射表面三维轮廓的新方法。并应用该方法具体测量了斜面、柱面和球面三种不同形状的表面轮廓。文中介绍了检测光路,推导了计算
【机 构】
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中国科学技术大学力学系,中国科学技术大学力学系,中国科学技术大学力学系 合肥,230026,合肥,230026,合肥,230026
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本文提出了一种利用电子散斑干涉法(ESPI)检测漫射表面三维轮廓的新方法。并应用该方法具体测量了斜面、柱面和球面三种不同形状的表面轮廓。文中介绍了检测光路,推导了计算公式,讨论了测量灵敏度的调节问题。最后,还就实验误差、该方法的优点和不足进行了分析。所有相关条纹图和实验数据,均由交互式高速图像处理系统和微机进行处理和分析。
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