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提出一种新的激光聚焦系统，它由一个空间滤波系统和８０＾Ｘ聚焦物镜组成，后者为一个双反射式球面系统，用这个激光聚焦系统，激光微束仪能获得直径小于０．５￣１μｍ的聚焦光斑。光斑尺寸和空间滤波系统的针孔光阑直径有关。
激光微束仪的激光聚焦系统研究
【摘 要】
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提出一种新的激光聚焦系统，它由一个空间滤波系统和８０＾Ｘ聚焦物镜组成，后者为一个双反射式球面系统，用这个激光聚焦系统，激光微束仪能获得直径小于０．５￣１μｍ的聚焦光斑。光斑尺寸和空间滤波系
【机 构】
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华南师范大学
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1996年1期
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