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窄台衬底内条形半导体激光器
窄台衬底内条形半导体激光器
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:redbattleline
【摘 要】
:
研制了一种新型结构双异质结半导体激光器,这种激光器是利用非平面衬底液相外延的特点,使电流阻挡层和四层双异质结构在腐蚀成窄台的衬底上一次外延完成生长,内条形电流通路
【作 者】
:
张晓波
邹峥
【机 构】
:
吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
激光器
半导体
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研制了一种新型结构双异质结半导体激光器,这种激光器是利用非平面衬底液相外延的特点,使电流阻挡层和四层双异质结构在腐蚀成窄台的衬底上一次外延完成生长,内条形电流通路在外延生长中自然形成。工艺特别简单,且具有良好线性输出和稳定基横模式振荡等特点。更多还原
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