【摘 要】
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对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析．实验结果表明，衬底材料不同时，制作表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异，给出了
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对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析．实验结果表明，衬底材料不同时，制作表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异，给出了在几种衬底材料上刻蚀制作面阵微透镜阵列的离子束刻蚀速率与离子束能量之间相互关系的实测结果．
Argon ion beam etching technology for fabrication of large area array microlens arrays was discussed and analyzed. The experimental results show that when the substrate materials are different, the fabrication conditions of the microlens arrays with good surface topography and predetermined parameters are obviously different. The surface micro-lens is etched on several kinds of substrate materials The measured results of the relationship between the ion beam etching rate of the array and the ion beam energy.
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