【摘 要】
：
通过电子束和接触式曝光相结合的混合曝光方法，并利用复合胶结构，一次电子束曝光制作出具有T型栅的HFET(HeterojunctionField－EffectTransistor)器件，并对0.1μm栅长HFET器件的整
【机 构】
：
中科院微电子中心!北京100029,中科院微电子中心!北京100029,中科院微电子中心!北京100029
论文部分内容阅读
通过电子束和接触式曝光相结合的混合曝光方法，并利用复合胶结构，一次电子束曝光制作出具有T型栅的HFET(HeterojunctionField－EffectTransistor)器件，并对0.1μm栅长HFET器件的整套工艺及器件性能进行了研究。形成了一整套具有新特点的HFET器件制作工艺，获得了良好的器件性能(ft=78GHz;gm=440ms/mm)。
A hybrid HET (HeterojunctionField-EffectTransistor) device with a T-shaped gate was fabricated by a combination of electron beam and contact exposure using a composite adhesive structure and a single electron beam exposure. The entire process for a 0.1μm gate-length HFET device And device performance were studied. A complete set of HFET device fabrication processes with new features is achieved, resulting in good device performance (ft = 78GHz; gm = 440ms / mm).
其他文献
1 社区档案管理工作存在的主要问题rn近年来,各街道根据区档案局关于加强社区档案管理工作的意见精神,从实际出发,通过社区建档、整合档案资料等方式,积极开展社区档案工作,
初中语文阅读体验式教学是以学生全面发展为出发点,顺应初中生的认知心理规律,强调语文阅读过程的主体构建、人本对话以及真情实感。本文基于分析初中语文阅读体验式教学的内
【摘要】本文就土木工程建筑结构设计问题与对策进行分析。这对我国的建筑业得发展是具有一定的经济效益和现实意义。 【关键词】土木工程 结构设计 问题 措施 几年来，土木工程事故频频发生，给国家造成巨大的经济浪费，给人民的生命财产造成巨大损失。自从国家建委颁布了质量终身负责制，并加强了施工质量管理后，工程事故比例明显减小，而由于设计原因引起的事故在总事故中的比例有所增加。另外，由于设计者怕担责任，设
中置活性炭滤池采用不同消毒工艺进行试验,考察其对出水消毒副产物的控制情况.结果表明,预臭氧投加量过大可能导致消毒副产物超标.在预臭氧投加量为0.3 mg/L时,后续处理采用
交通需求管理是大城市交通政策的重要组成部分，提出了交通需求管理措施分类，分析合肥市交通现状和交通需求管理措施现状，并提出了合肥市下一步实施交通需求管理措施。
【摘要】改革开放以来，随着我国经济水平的不断发展，人民生活的经济基础和物质水平不断完善。大规模人口涌入城市寻找发展机会，随着人口数量的不断上升，对城市基础道路设施的需求指数级提高。为了满足大规模人口在城市中的正常生活与工作出行需求，同时满足城市居民良好舒适的生活与出行环境，需要针对部分城市道路进行相应的修整、改造或重新铺设。本文将针对当前道路施工管理过程中存在的问题展开论述，从根本原因与解决方法角
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【摘要】从我国目前市政环卫工程项目的具体情况来看，其施工成本管理与控制过程中，仍然存在着一些不容忽视的问题，严重阻碍着企业自身的发展。因此，对市政环卫工程项目的施工成本管理与控制进行研究与探讨则显得尤为必要与迫切。本文首先对市政工程项目成本管理与控制进行了简要概述，然后就市政环卫工程项目施工成本管理与控制过程中存在的问题作了进一步的分析与探究，并提出了相应的解决措施，希望能为实际工作起到一定的指导
本研究比较了AMI患者接受尿激酶治疗(溶栓组)与接受常规治疗(对照组)的住院病死率,结果是溶栓组显著低于对照组(P
“亲近阅读”读书活动使干部的笑脸比以往多了,工作作风较以前改善了……今年2月,兵团党委常委、组织部部长宋浩对农四师开展的这一活动作出重要批示,给予充分肯定
“Readi