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建立了电感耦合等离子体源的电磁场模型，电离模型和双极扩散模型，并进行模拟计算。计算结果表明，在天线结构和反应室内径不变的情况下，随着反应室高度的下降，电场强度逐渐升高，电子密度也升高，反应室高度从１２ｃｍ降到５ｃｍ时，峰值电子密度增加６０％。
反应室几何结构对电场强度和电子密度分布的影响
【摘 要】
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建立了电感耦合等离子体源的电磁场模型，电离模型和双极扩散模型，并进行模拟计算。计算结果表明，在天线结构和反应室内径不变的情况下，随着反应室高度的下降，电场强度逐渐升高，电子
【机 构】
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华南理工大学
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金,广东省自然科学基金
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