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期刊论文
坡莫磁阻薄膜的热处理研究
坡莫磁阻薄膜的热处理研究
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mipanglin
【摘 要】
:
研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后
【作 者】
:
章岚
郭懋端
徐梅娣
【机 构】
:
中科院上海冶金所,中科院上海冶金所上海200050,上海200050
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1993年5期
【关键词】
:
坡莫磁阻薄膜
堆垛层错
热处理
(111) texturepermalloy thin filmsstacking faultssoft magnetic pr
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研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后电阻率下降,各向异性磁阻提高,但软磁性能没有改善,这些是与微结构变化相联系的。更多还原
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