【摘 要】
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本文着重研究六方ZnO薄膜和立方MgO衬底之间的耦合,利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)表征其表面形貌,并采用紫外可见光谱(UV-VIS)研
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本文着重研究六方ZnO薄膜和立方MgO衬底之间的耦合,利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)表征其表面形貌,并采用紫外可见光谱(UV-VIS)研究了其光学性质,X射线衍射(XRD)用于研究生长特性和界面结构。我们的工作表明,薄膜以三维模式生长,表面平整度受到生长氧分压的影响,并且氧分压的改变会导致ZnO薄膜的生长取向的改变。由于薄膜与衬底间晶格失配较大,在240℃,1.0 ×10?3 Pa的条件下生长出了较为平整的(1013)取向的薄
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