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阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运行程序,获得稳定的靶电流情况.
真空镀膜机靶电源的模糊控制系统
【摘 要】
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阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运行程序,获得稳定的靶电流情况.
【机 构】
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南华大学电气工程学院
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2004年4期
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