【摘 要】
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有人对我说:“晶圆厂就像一座冰山.”我分不清是谁在说话,因为所有人从头到脚都裹在洁净服里.参观位于纽约州马耳他的格芯公司第8晶圆厂无疑让这个比喻更加形象.我们刚刚走出
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有人对我说:“晶圆厂就像一座冰山.”我分不清是谁在说话,因为所有人从头到脚都裹在洁净服里.参观位于纽约州马耳他的格芯公司第8晶圆厂无疑让这个比喻更加形象.我们刚刚走出第8晶圆厂的“子工厂”,那是垂直高度达10米的地下厂房,管道和电线从上方的各种半导体制造工具中蜿蜒而下,连接到化学品自动处理机、水质分析仪、功率调节器以及千瓦级的激光器上.而这个激光器,正是我们此行参观的主要目的.
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