【摘 要】
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本文介绍了绕定轴摆动扫描式投影光刻机扫描畸变的概念、产生原因和类型。在TGK75A型样机具体结构的基础上论述了扫描畸变调整补偿原理,并计算了调整机构的调整灵敏度。叙述
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本文介绍了绕定轴摆动扫描式投影光刻机扫描畸变的概念、产生原因和类型。在TGK75A型样机具体结构的基础上论述了扫描畸变调整补偿原理,并计算了调整机构的调整灵敏度。叙述了检调工具和方法步骤。列出扫描畸变判断调整程序表供读者参考。
This article describes the concept of scanning distortion around a fixed-axis scanning projection lithography machine, its causes and types. On the basis of the concrete structure of TGK75A prototype, the compensation principle of scanning distortion is discussed and the adjusting sensitivity of adjusting mechanism is calculated. Describes the inspection tools and method steps. List scanning distortion to determine the adjustment program for readers reference.
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