梳齿形电容式传感器有限元法计算

来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:gabby11
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通过微型计算机,用有限元法计算某类传感器,为优化设计建立一个清晰的数学模型。本文以梳齿形电容式传感器为例,来说明此方法的运用。 Through the microcomputer, using finite element method to calculate a certain type of sensor, to establish a clear mathematical model for the optimal design. In this paper, comb-shaped capacitive sensor, for example, to illustrate the use of this method.
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