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在低温空气分离厂中进行低温空气制备时必须将原料气中的水蒸气和CO2除去，以避免外部结冰和阻塞设备，该工艺发生在给料空气压缩之后，因此被称为预纯化工艺，过去此工艺就采用的处理设备是可逆热交换器，在1980年低，成本更低的吸附工艺得到迅猛发展并取代了可逆热交换器的地位，在电子学工业中使用的超高纯的N2，气体中所含的H2和CO必须通过预净化工艺除去，例如在催化剂作用下，可将H2和CO与氧气反应生成水和CO2并将其除去，该预纯化工艺得到了不断的提高和发展。