Al2O3与LaF3薄膜在紫外波段的特性研究

来源 :浙江大学学报:工学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chino80
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用电子束蒸发方法制造了Al2O3、LaF3单层膜,对比研究了沉积速率和基板温度对薄膜紫外(193 nm)光学特性、微结构的影响.实验结果表明,LaF3在紫外波段的光学损耗明显小于Al2O3.AFM测试发现,在相同的工艺条件下,Al2O3表面粗糙度大于LaF3,且LaF3薄膜表面粗糙度随基板温度增加而增加.Al2O3薄膜在紫外波段的光学特性严重依赖于沉积速率等制备条件,而沉积速率对LaF3薄膜特性的影响不明显,即使是在5 nm/s的速率条件下,LaF3仍具有良好的光学特性.X射线衍射(XRD)测试发现,电子
其他文献
利用MCNP和Garfield程序模拟粒子与高阻性板室(RPC)热中子探测器的作用过程,计算出了转换体Gd2O3的最佳厚度和高阻性板室探测器对中子、γ的灵敏度,并得出了热中子和1.25 MeVγ
为了解羟胺乙酸(HAAA)对Pu(Ⅳ)的还原性能,用分光光度法研究了羟胺乙酸与Pu(Ⅳ)的还原动力学,其动力学方程式为:-dc (Pu(Ⅳ))/dt=kc(Pu(Ⅳ)) c1.50(HAAA) c-1.00(H+)c-0.63(NO-3)。在15.8 ℃时, k=(42.1&
首届中国南方敦育高峰年会于2013年6月22-23日在广州成功举办,来自清华大学、北京师范大学、中国社科院、中国教科院、中山大学、澳门大学、南方科技大学等知名学府与研究机构
针对传统有限元方法分析时存在的数值振荡问题,采用了基于B样条小波的有限元分析方法.以四阶B样条小波的张量积空间尺度函数作为插值函数,构造相应的小波单元,并根据离合器接合过
在毛泽东领导和毛泽东思想指引下,20世纪的中国社会出现了三次亘古未有的历史性跨越。新中国的成立,中国的上层建筑主体从剥削阶级统治到人民当家做主;社会主义制度的确立,中
背景心律失常是心悸的重要原因,中药治疗心悸有独特的优势,如效果肯定、毒副作用小、安全可靠,停药后疗效持久、不易复发等,故中医药在治疗心悸病方面具有极大的研究价值。目的基于国家科技推广项目“中医传承辅助平台(V2.5)”系统,总结导师黄飞翔主任医师治疗心悸病的用药经验、组方特色,以更好地应用于中医临床经验传承。方法通过收集2019年01月至2019年12月期间,在福建中医药大学附属第二人民医院心血管
我校是普及型农村高中,生源来自初中教育的最底层,没有分数门槛。在人们心目中,进我校读书是无奈之举。社会、家长、老师、学生对学校的要求很低,家长们希望孩子在此呆三年不学坏
全面预算管理是企业战略管理的常用工具,在各种生产经营活动的基础上,以企业的战略为目标,通过对预期业务活动和相关财务状况的有效、全面、完整的预测和规划,对预期目标和实
耿寿轩,天津市第四十五中学语文特级教师,全国优秀教师、劳动模范。他著述颇丰,参与编写多部书籍,出版个人文集《向若集》。先后承担多项市级、国家级课题研究任务。    用一生的执著,  运用心理和语文伦理学的视野,  发现自我,探索世界,  在语文的天地里实现精神境界的升华,  追求一名语文教师生命中的理想和幸福!  ——摘自耿寿轩的读书随感  1946年,耿寿轩出生于河北沧州,师范学校毕业后,于19
针对浙江大学皮卫星由于输入能量条件差以及采用非调节母线和体装式结构,使其能量平衡计算相对于传统卫星更加复杂的特点和电源电路的特殊设计,对电源系统进行了建模.通过实时计