进动气囊抛光工艺参数研究

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为了提高光学元件的面形精度,提高加工效率,针对平面光学零件,以抛光去除效率和表面粗糙度为考核指标,对影响进动气囊抛光的几个工艺参数进行了正交试验及分析,得出各工艺参数对抛光去除效率和表面粗糙度的影响规律。确定最佳工艺参数,并在此条件下进行了气囊抛光工艺试验,通过Matlab软件拟合出了气囊抛光去除函数,为开展驻留时间的计算和面形控制提供了依据。 In order to improve the surface accuracy of optical components and improve the processing efficiency, for the planar optical components, with the polishing efficiency and surface roughness as the evaluation index, several process parameters affecting the precession balloon polishing were tested and analyzed in orthogonal The effects of various process parameters on polishing removal efficiency and surface roughness were studied. The optimal process parameters were determined and the airbag polishing process was carried out under these conditions. The airbag polishing removal function was fitted by Matlab software, which provided the basis for the dwell time calculation and surface shape control.
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