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大气压低功率微波等离子体源的研究进展及其应用展望

来源 :中国科学:物理学 力学 天文学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dizenxu

【作 者】

：

陈兆权  张煌  涂一烺 

【出 处】

：

中国科学:物理学 力学 天文学

【发表日期】

：

2018年09期

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