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本文提出了线性电压扫描下长产生寿命的快速测量方法。该法具有不需使C-t瞬态曲线达到饱和、数据处理简单、且不需知道样品的掺杂浓度等优点。
长产生寿命的快速测量方法
【摘 要】
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本文提出了线性电压扫描下长产生寿命的快速测量方法。该法具有不需使C-t瞬态曲线达到饱和、数据处理简单、且不需知道样品的掺杂浓度等优点。
【机 构】
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杭州大学电子工程系,杭州大学电子工程系,杭州
【出 处】
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电子科学学刊
【发表日期】
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1998年5期
【基金项目】
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硅材料国家重点实验室资助课题
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