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研究了应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对于干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到一组表征它们表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果.
移相干涉术用于测量长度方法研究
【摘 要】
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研究了应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对于干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不
【机 构】
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西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2003年2期
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