【摘 要】
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提出一种微细电火花加工复合电极,该电极能够用来加工诸如硅工艺或LIGA工艺不能完成的超精密微细部件。其原理基于沉积层和基体材料性能的差异通过电沉积方法改变电极侧面材
【机 构】
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大连理工大学精密及特种加工教育部重点实验室,
【出 处】
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Chinese Journal of Aeronautics
论文部分内容阅读
提出一种微细电火花加工复合电极,该电极能够用来加工诸如硅工艺或LIGA工艺不能完成的超精密微细部件。其原理基于沉积层和基体材料性能的差异通过电沉积方法改变电极侧面材料电蚀性能保证电极端面的均匀损耗。在NAK80钢上的微孔加工实验中发现,与常用的单一材料电极相比,Cu-ZrB2复合电极在所采用的加工条件下具有较好的耐损耗性能。研究结果表明该复合电极能够用来制造大深径比微部件,在三维型腔的微细加工中有较大潜力。
A micro-EDM composite electrode is proposed, which can be used to process ultra-precision micro-parts such as silicon process or LIGA process. The principle is based on the difference between the properties of the deposited layer and the matrix material to change the electrode erosion properties of the electrode material by electrodeposition to ensure the uniform wear of the electrode face. In the micro-hole machining experiment on NAK80 steel, it is found that the Cu-ZrB2 composite electrode has better wear resistance under the processing conditions adopted compared with the commonly used single material electrode. The results show that the composite electrode can be used to manufacture large aspect ratio micro-components, in the three-dimensional cavity micro-machining has great potential.
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