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为了探讨半导体IC芯片在加工过程中平面定位的新方法，依据磁阻最小原理，采用类比法，建立了开关磁阻平面电机SRPM的线性数学模型，设计并给出了实验样机的基本结构、动子和定子的具体参数。实验样机动子在戈和Y方向上均采用三相绕组，每相绕组匝数为132匝，单相通电10A时，最大电磁力为200N。仿真实验结果证明，设计的SRPM理论分析正确、电机结构及设计参数合理。