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高纯氯化氢在电子工业中有着非常广泛的用途。简介了氯化氢的物性和应用领域;介绍了氯化氢的合成方法;按照杂质的分类对氯化氢的纯化工艺进行了介绍;对氯化氢产业的发展前景进行了展望。
氯化氢的纯化工艺研究进展
【摘 要】
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高纯氯化氢在电子工业中有着非常广泛的用途。简介了氯化氢的物性和应用领域;介绍了氯化氢的合成方法;按照杂质的分类对氯化氢的纯化工艺进行了介绍;对氯化氢产业的发展前景
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2017年03期
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