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【摘 要】
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当空气绝对压力小于40 kPa时,目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段,为此本文设计了一套新颖的流量标定装置,并提出一种了流量测量方法。在流量调节过程中,调节阀必不可少
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2012年02期
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