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用以确定细晶陶瓷缺陷尺寸的超声标准块的标准缺陷极小，其和表面不规则性必须精确测定激光扫描显微镜能测量标准缺陷的深，宽表和表面不规则性，试样表面无须预处理，即可观察到分力为０．３μｍ的标准缺陷三维图象，磁粉检验用的参考缺陷也可用此法测量，在评估确定缺陷尺寸用的标准氛和参考块时，激光扫描显微镜是一种很有用的工具。