具有力传感器的纳米加工探针的设计

• 作 者: 高伟 GENDA Satoshi KUDO Yasuto KIYONO Satoshi Patten A John
• 机 构: 日本东北大学工程学院纳米机械系,仙台980-8579,日本美国西密歇根大学制造工程系制造研发中心,卡拉马祖49008,美国
• 出 处: 纳米技术与精密工程
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 测量 精密仪器 传感器 纳米加工 高速工具控制 力传感器

给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置.该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成.而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体(PZT)驱动器构成.压电陶瓷晶体(PZT)驱动器可对与切削量相对应的金刚石工具的Z向位置进行高速控制,从而实现加工复杂表面形状的目的.加工中的切削力是反映切削进程的重要指标,可由联结于FTC单元的高灵敏度力传感器进行测量.比对了用于联结力传感器和FTC单元的两种设计方法.