【摘 要】
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FAIMS系统中最基础的部分为高场非对称射频电源,它提供电压差让离子在迁移区中实现有效的分离.通过半桥逆变的原理产生RF方波,设计一种三桥臂的方波产生电路,减小了通过高压
【机 构】
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清华大学深圳国际研究生院 深圳518055;中国石油集团测井有限公司技术中心 西安710077;深圳职业技术学院智能制造技术研究院 深圳518055
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FAIMS系统中最基础的部分为高场非对称射频电源,它提供电压差让离子在迁移区中实现有效的分离.通过半桥逆变的原理产生RF方波,设计一种三桥臂的方波产生电路,减小了通过高压直流电源的电流,从而有效减小了系统的功率.考虑FAIMS芯片的复杂性和仪器的便携性,改进差分式射频工作模式,有效降低了FAIMS对高压直流电源的输入要求,有利于高压直流电源的简化和功耗的降低,进而有利于FAIMS的小型化应用.结合补偿电压自动扫描,研制出优化后的高场非对称方波射频电源,通过实验对比,满足FAIMS迁移区的工作要求.
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