BN坩埚中的AlN单晶生长

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiehao2008
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AIN是第三代直接宽带隙半导体材料的代表,具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等特点,在制作大功率微电子器件和紫外探测器等方面,具有广泛的应用前景。AIN在光电子领域的应用潜力也不容忽视。AIN作为GaN材料的衬底,与目前广泛使用的SiC和宝石衬底相比,具有晶格失配位错密度低、热导率高、热膨胀系数差别小等优点,因而能大大提高GaN器件的性能和使用寿命。目前,各国竞相投入大量的人力、物力进行AIN单晶的研究工作。我国在这方面还鲜有报道。本文报道了山东大学在AIN单晶生长探索方面取得的一
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