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2009年4月，中国科学院理化技术研究所的科研人员经过一年半的努力，终于成功研制出全球首台纳秒脉冲177．3nm深紫外固态激光源实用化样机。通过优化倍频系统及KBBF先进热管理技术，激光输出功率获重大突破，比2006年提高20倍，稳定输出功率达4mW，最大输出功率为34．7mw。该样机的成功研制，标志着我国在DUV（深紫外）前沿领域取得了重大科研突破，使我国在该领域的科学与技术位居国际领先地位，推动物理、化学、材料、信息、生命、资环等领域创建新的科技前沿。