【摘 要】
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本文描述在700～800℃温度之间第一次成功地制备含铝浓度高达40％的Al_xGa_(1-x)As薄膜。组份和生长速度与热力学的计算结果作了比较。非有意掺杂的材料是n型,它的光致发光强度可
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本文描述在700～800℃温度之间第一次成功地制备含铝浓度高达40％的Al_xGa_(1-x)As薄膜。组份和生长速度与热力学的计算结果作了比较。非有意掺杂的材料是n型,它的光致发光强度可与LPE层的相比。通过掺锌制备P型外延层。
This paper describes the first successful fabrication of an Al_xGa_ (1-x) As film containing up to 40% aluminum at temperatures between 700 and 800 ° C. The composition and growth rate are compared with the thermodynamic calculations. The material that is not intentionally doped is n-type and its photoluminescence intensity can be compared with that of the LPE layer. P-type epitaxial layers were prepared by zinc doping.
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