【摘 要】
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热铁盘法抛光CVD金刚石需要在800℃以上的真空环境下进行,抛光过程中金刚石的固定,常采用陶瓷胶粘结的方法,该法在实际使过程中经常出现陶瓷胶粘结不牢而导致金刚石脱落。据
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程及自动化学院,北京航空航天大学材料科学与工程学院
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热铁盘法抛光CVD金刚石需要在800℃以上的真空环境下进行,抛光过程中金刚石的固定,常采用陶瓷胶粘结的方法,该法在实际使过程中经常出现陶瓷胶粘结不牢而导致金刚石脱落。据此设计出一套高温真空环境下使用的金刚石夹具,在抛光厚度0.7 mm的金刚石时,将其装夹在0.4 mm深的凹槽内,留出0.3 mm左右的高度以供抛光。加载方式可以实现加热过程中无载荷,抛光过程中施加载荷。实验表明,该夹具在抛光过程中,可以实现金刚石的完全固定,并能在273 mm/s的抛光速度条件下稳定工作。在温度800℃,速度273 mm/s,载荷2.54 kg,抛光30 m in的条件下,金刚石表面粗糙度可由原始的Ra9.6μm抛光至Ra0.16μm。
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