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半导体行业作为一个高能耗产业,对水、电的消耗十分巨大,单是在纯水制造过程中就需要消耗大量的水和电。因此,探讨如何在纯水制造过程中节水节电的工作势在必行。本文简要介绍了两种不同工艺纯水制造的流程与效果,并结合实际案例,对两种纯水处理工艺进行了能耗对比。并在此基础上对其中一种工艺系统进行了节能改造,取得较为显著的节能效果。