【摘 要】
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基于现代控制理论 ,提出了一种新型空气支承 ,不改变供气压力 ,利用压电陶瓷(PZT)的伸缩量来补偿空气膜厚度随外部干扰的变化对支承精度的影响 .在建立理论模型的基础上 ,介
【机 构】
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基于现代控制理论 ,提出了一种新型空气支承 ,不改变供气压力 ,利用压电陶瓷(PZT)的伸缩量来补偿空气膜厚度随外部干扰的变化对支承精度的影响 .在建立理论模型的基础上 ,介绍了二维自由度控制器的优化设计方法 ,并对主动空气支承系统的动态特性进行了分析研究 .该系统具有精度高、响应速度快、抗干扰能力强的特点 ,其应用领域相当广泛 .
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