φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试

• 作 者: 武旭华 陈磊 王磊
• 机 构: 南京理工大学电光学院,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2007年08期
• 关键词: 应用光学 大口径干涉仪 参考镜 镜面支承 有限元法

针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ,RMS的差值为0.005λ。实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求。